真空探針臺測試儀，用于芯片，氣敏元器件等在不同氣氛環境下電學性能，也可用于材料分析。廣泛應用于半導體電學性能測試、物理研究，氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業的制造和研究領等系統中的重要部件。

產品型號：VS21

更新時間：2025-06-12

廠商性質：生產廠家

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

產品介紹

特點：

★ 測量溫度寬，控溫精度高

★ XYZ三軸方向移動，定位精度高

★ 真空漏率優秀，真空度高

★ 精密小巧，易于搬運

用途：

真空探針臺測試儀用于芯片，氣敏元器件等在不同氣氛環境下電學性能，也可用于材料分析。廣泛應用于半導體電學性能測試、物理研究，氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業的制造和研究領等系統中的重要部件。

真空探針臺測試儀規格參數：

項目	訂貨代碼	VS21-4 VS21-6
主體	VS21-4 （4探針）	腔體材質： AL6061(可定制SUS304腔體) 密封方式：氟膠圈抽氣口:KF16 電信采集接口：標配BNC接口腔體進氣口：6mm(特殊可定制) 腔體外尺寸：6寸樣品臺尺寸：2寸樣品觀察窗：φ50mm
主體	VS21-6 （6探針）
探針組件（單組價格）	Q2	氣密型同軸接口探針夾具（普通型）
	Q3	氣密型三軸接口探針夾具（抗干擾性強，應用于半導體）
	V2	真空型同軸接口探針夾具（普通型，需要抽真空時選擇）
	V3	真空型三軸接口探針夾具（抗干擾性強，應用于半導體，需要抽真空時選擇）
探針規格	000T	鍍金，50μm(可選：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探針。

信號線纜	R1	單頭甩空線
信號線纜	R2	雙頭線
位移座	ST	XYZ三軸位移尺寸(X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm）
高低溫控制系統	H	高溫控制器:常溫～450℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃（進口溫控）
高低溫控制系統	L	低溫控制器:-194℃～0℃，控制精度±0.25℃
真空系統	MP	機械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計）
	TP	分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度510-5Pa) 復合真空計（Leybold ):PTR90(大氣至510-7Pa)主體需要采用不銹鋼材質，才能抽到高真空
	TP
顯微鏡	PM	體式顯微鏡:ZOOM645S（環形光源）
	CM	CCD：200萬像素
	DP	戴爾顯示器：21寸
	SJ	視頻顯微鏡+10寸顯示屏（100萬像素）
附件	D20	液氮杜瓦罐:20L（溫度控制在-196℃-室溫可控）